2重管式同軸線路形マイクロ波プラズマCVDにおけるSiH4の解離度と膜堆積速度

• 資料種別: 記事
• タイトル: 2重管式同軸線路形マイクロ波プラズマCVDにおけるSiH4の解離度と膜堆積速度
• 著者・編者: 加藤 勇; 江橋 克巳; 末松 憲治
• 著者標目: 加藤 勇; 江橋 克巳; 末松 憲治
• タイトル（掲載誌）: 電気学会論文誌. A, 基礎・材料・共通部門誌 = IEEJ transactions on fundamentals and materials
• 巻号年月日等（掲載誌）: 107(7) 1987.07
• 掲載巻: 107
• 掲載号: 7
• 掲載ページ: p331～338
• 掲載年月日（W3CDTF）: 1987-07
• ISSN（掲載誌）: 0385-4205
• ISSN-L（掲載誌）: 0385-4205
• 出版事項（掲載誌）: 東京 : 電気学会
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• NDLC: ZN31
• 対象利用者: 一般
• 記事種別、記事分類: 記事分類: 電気工学--電子工学--電子部品--固体素子
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z16-793
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 3142613; http://id.ndl.go.jp/bib/3142613
• 整理区分コード: 632

• 要約等: 記事分類: 電気工学--電子工学--電子部品--固体素子（提供元: CiNii Research）