観察面の上下振動の影...

観察面の上下振動の影響を受けない光を用いた超精密面の全方向粗さ測定

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観察面の上下振動の影響を受けない光を用いた超精密面の全方向粗さ測定

国立国会図書館請求記号
Z15-269
国立国会図書館書誌ID
3150585
資料種別
記事
著者
安達 正明ほか
出版者
東京 : 日本光学会
出版年
1987-12
資料形態
掲載誌名
光学 = Japanese journal of optics : publication of the Optical Society of Japan 16(12) 1987.12
掲載ページ
p.p548~552
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
安達 正明
八坂 勝彦
川口 格
タイトル(掲載誌)
光学 = Japanese journal of optics : publication of the Optical Society of Japan
巻号年月日等(掲載誌)
16(12) 1987.12
掲載巻
16
掲載号
12
掲載ページ
p548~552
掲載年月日(W3CDTF)
1987-12