材料プロセスのためのプラズマ生成とその制御 (プラズマ表面プロセス<特集>)
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 真瀬 寛田辺 利夫池畑 隆
- シリーズタイトル
- タイトル（掲載誌）
- 金属表面技術 / 金属表面技術協会 [編]
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 39(7) 1988.07
- 掲載巻
- 39
- 掲載号
- 7
- 掲載ページ
- p368～374