フルオロカーボン超薄膜の作製とガス透過特性
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 国武 豊喜
- 著者標目
- タイトル（掲載誌）
- 旭硝子工業技術奨励会研究報告 / 旭硝子工業技術奨励会 [編]
- 巻号年月日等（掲載誌）
- (通号 53) 1988
- 掲載通号
- 53
- 掲載ページ
- p1～6
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 1988
- ISSN（掲載誌）
- 0365-2599