静電リニアアクチュエータの解析と拡大モデルによる性能評価

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静電リニアアクチュエータの解析と拡大モデルによる性能評価

国立国会図書館請求記号
Z16-1608
国立国会図書館書誌ID
3244959
資料種別
記事
著者
藤田 博之ほか
出版者
東京 : 電気学会
出版年
1989-09
資料形態
掲載誌名
電気学会論文誌. D, 産業応用部門誌 = IEEJ transactions on industry applications 109(9) 1989.09
掲載ページ
p.p669~674
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書誌情報

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デジタル

資料種別
記事
著者・編者
藤田 博之
面高 秋人
タイトル(掲載誌)
電気学会論文誌. D, 産業応用部門誌 = IEEJ transactions on industry applications
巻号年月日等(掲載誌)
109(9) 1989.09
掲載巻
109
掲載号
9
掲載ページ
p669~674
掲載年月日(W3CDTF)
1989-09