高周波マグネトロンスパッタリング法を用いたLa-Mn複合酸化物薄膜の作製と酸素センサ特性

• 資料種別: 記事
• タイトル: 高周波マグネトロンスパッタリング法を用いたLa-Mn複合酸化物薄膜の作製と酸素センサ特性
• 著者・編者: 山田 智 他
• 著者標目: 山田 智
• タイトル（掲載誌）: 電気化学および工業物理化学 = Denki kagaku
• 巻号年月日等（掲載誌）: 63(3) 1995.03
• 掲載巻: 63
• 掲載号: 3
• 掲載ページ: p205～211
• 掲載年月日（W3CDTF）: 1995-03
• ISSN（掲載誌）: 1344-3542
• ISSN-L（掲載誌）: 1344-3542
• 出版事項（掲載誌）: 東京 : 電気化学協会
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• NDLC: ZP1
• 対象利用者: 一般
• 記事種別、記事分類: 記事分類: 工業材料・材料試験
• コレクション（共通）: 障害者向け資料
• コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
• コレクション（障害者向け資料：レベル2）: プレーンテキスト
• コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 雑誌; https://dl.ndl.go.jp/collections/A00002
• オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
• 遠隔複写可否（NDL）: 不可
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z17-14
• 掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/3332926; https://dl.ndl.go.jp/pid/3332926
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 3593714; http://id.ndl.go.jp/bib/3593714
• 整理区分コード: 632

• 要約等: 資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト（提供元: CiNii Research）