Ta2O5系高誘電率絶縁膜の作製

• 資料種別: 記事
• タイトル: Ta2O5系高誘電率絶縁膜の作製
• 著者・編者: 藤川 久喜; 野田 浩司; 多賀 康訓
• 著者標目: 藤川 久喜; 野田 浩司; 多賀 康訓
• タイトル（掲載誌）: 豊田中央研究所R&Dレビュー = R&D review of Toyota CRDL / R&Dレビュー編集委員会 編
• 巻号年月日等（掲載誌）: 30(4) 1995.12
• 掲載巻: 30
• 掲載号: 4
• 掲載ページ: p13～23
• 掲載年月日（W3CDTF）: 1995-12
• ISSN（掲載誌）: 0385-1508
• ISSN-L（掲載誌）: 0385-1508
• 出版事項（掲載誌）: 長久手町 (愛知県) : 豊田中央研究所
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• NDLC: ZN11
• 対象利用者: 一般
• 記事種別、記事分類: 記事分類: 電気工学--電気材料・部品--絶縁材料
• コレクション（共通）: 障害者向け資料
• コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
• コレクション（障害者向け資料：レベル2）: プレーンテキスト
• コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > その他; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00035; 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 雑誌; https://dl.ndl.go.jp/collections/A00002
• オンライン閲覧公開範囲: 国立国会図書館内限定公開
• デジタル化資料送信: 図書館・個人送信対象外
• 遠隔複写可否（NDL）: 不可; 可
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z16-948
• 関連情報（URI）: http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/3494099
• 関連情報（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/3494099; http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/3494099
• 掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/3241005; https://dl.ndl.go.jp/pid/3241005
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 3638873; http://id.ndl.go.jp/bib/3638873
• 整理区分コード: 632