ヒ化ガリウム/ヒ化アルミニウム膜のオージェ電子分光法における深さ分解能のスパッタリングイオン種とそのエネルギーに対する依存性

• 資料種別: 記事
• タイトル: ヒ化ガリウム/ヒ化アルミニウム膜のオージェ電子分光法における深さ分解能のスパッタリングイオン種とそのエネルギーに対する依存性
• 著者・編者: 荻原 俊弥; 田沼 繁夫; 高草木 操
• 著者標目: 荻原 俊弥; 田沼 繁夫; 高草木 操
• タイトル（掲載誌）: 分析化学 / 日本分析化学会 編
• 巻号年月日等（掲載誌）: 39(5) 1990.05
• 掲載巻: 39
• 掲載号: 5
• 掲載ページ: p277～281
• 掲載年月日（W3CDTF）: 1990-05
• ISSN（掲載誌）: 0525-1931
• ISSN-L（掲載誌）: 0525-1931
• 出版事項（掲載誌）: 東京 : 日本分析化学会
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• NDLC: ZP4
• 対象利用者: 一般
• 記事種別、記事分類: 記事分類: 化学・化学工業--化学実験・分析化学--光分析・電磁気分析
• コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
• オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
• 遠隔複写可否（NDL）: 不可
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z17-9
• 関連情報（URI）: http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/10892373
• 関連情報（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/10892373; http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/10892373
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 3666966; http://id.ndl.go.jp/bib/3666966
• 整理区分コード: 632

• 要約等: オージェ電子分光法による深さ方向分析において,GaAs/AlAs/GaAs膜(各30nm)を用いた場合のスパッタリングイオンの加速電圧及び質量と深さ分解能の関係について検討した.イオン種にはNe<SUP>+</SUP>, Ar<SUP>+</SUP>, Kr<SUP>+</SUP>を用い,イオン加速...