熱泳動CVD法によるジルコニア薄膜の作製 (CVD<特集> ; 膜・表面処理)
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 中村 静夫林 良茂平井 英二
- シリーズタイトル
- タイトル（掲載誌）
- 化学工学論文集
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 16(3) 1990.05
- 掲載巻
- 16
- 掲載号
- 3
- 掲載ページ
- p490～493