プラズマフリーCo-Cr膜形成用トロイダルプラズマ式スパッタ法の改善〔英文〕
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 高橋 隆一池田 長康直江 正彦
- タイトル（掲載誌）
- 富山大学工学部紀要
- 巻号年月日等（掲載誌）
- (通号 42) 1991
- 掲載通号
- 42
- 掲載ページ
- p37～42
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 1991
- ISSN（掲載誌）
- 0387-1339