2次イオン質量分析法による多層薄膜界面の評価におけるCsX+2次イオン検出の有効性

• 資料種別: 記事
• タイトル: 2次イオン質量分析法による多層薄膜界面の評価におけるCsX+2次イオン検出の有効性
• 著者・編者: 林 泰夫; 松本 潔
• 著者標目: 林 泰夫; 松本 潔
• タイトル（掲載誌）: 分析化学 / 日本分析化学会 編
• 巻号年月日等（掲載誌）: 40(4) 1991.04
• 掲載巻: 40
• 掲載号: 4
• 掲載ページ: p159～162
• 掲載年月日（W3CDTF）: 1991-04
• ISSN（掲載誌）: 0525-1931
• ISSN-L（掲載誌）: 0525-1931
• 出版事項（掲載誌）: 東京 : 日本分析化学会
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• NDLC: ZP4
• 対象利用者: 一般
• 記事種別、記事分類: 記事分類: 化学・化学工業--化学実験・分析化学--光分析・電磁気分析
• コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
• オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
• 遠隔複写可否（NDL）: 不可
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z17-9
• 関連情報（URI）: http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/10892605
• 関連情報（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/10892605; http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/10892605
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 3719039; http://id.ndl.go.jp/bib/3719039
• 整理区分コード: 632

• 要約等: 多層薄膜の界面における元素の相互拡散を精密に評価する手法として, SIMSの適用を試みた.従来, SIMSによる界面分析では界面で二次イオンの生成効率が変化することに基づく特異な現象が認められるために,特殊な場合を除き精密に界面を評価することは困難であった.本稿では, Cs<SUP>+</SUP>一...