超精密位置決め制御に関する研究--粗・微動の連動制御
デジタルデータあり(Japan Link Center)
すぐに読む
CiNii Research
全国の図書館の所蔵
国立国会図書館以外の全国の図書館の所蔵状況を表示します。
所蔵のある図書館から取寄せることが可能かなど、資料の利用方法は、ご自身が利用されるお近くの図書館へご相談ください
書誌情報
この資料の詳細や典拠(同じ主題の資料を指すキーワード、著者名)等を確認できます。
- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 佐久田 茂小川 潔上田 勝宣
- タイトル(掲載誌)
- 精密工学会誌 = Journal of the Japan Society for Precision Engineering / 会誌編集委員会 編
- 巻号年月日等(掲載誌)
- 57(12) 1991.12
- 掲載巻
- 57
- 掲載号
- 12
- 掲載ページ
- p2133~2138
- 掲載年月日(W3CDTF)
- 1991-12