超精密化ポリシャの実...

超精密化ポリシャの実証論的研究-2-新しい硬軟質2層構造ポリシャの開発と電子・光部品用結晶基板への適用

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超精密化ポリシャの実証論的研究-2-新しい硬軟質2層構造ポリシャの開発と電子・光部品用結晶基板への適用

国立国会図書館請求記号
Z14-642
国立国会図書館書誌ID
3742300
資料種別
記事
著者
土肥 俊郎 他
出版者
さいたま : 埼玉大学教育学部
出版年
1991
資料形態
掲載誌名
埼玉大学紀要. 教育学部. 数学・自然科学 / 埼玉大学教育学部 編 40(1) 1991
掲載ページ
p.p47~60
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資料種別
記事
著者・編者
土肥 俊郎 他
著者標目
タイトル(掲載誌)
埼玉大学紀要. 教育学部. 数学・自然科学 / 埼玉大学教育学部 編
巻号年月日等(掲載誌)
40(1) 1991
掲載巻
40
掲載号
1
掲載ページ
p47~60
掲載年月日(W3CDTF)
1991