Al-Nb-(N)合金薄膜に形成される表面酸化層のキャラクタリゼーションと成長過程の検討

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Al-Nb-(N)合金薄膜に形成される表面酸化層のキャラクタリゼーションと成長過程の検討

国立国会図書館請求記号
Z16-1852
国立国会図書館書誌ID
3756379
資料種別
記事
著者
野矢 厚ほか
出版者
東京 : 電子情報通信学会エレクトロニクス ソサイエティ
出版年
1992-02
資料形態
掲載誌名
電子情報通信学会論文誌. C-2, エレクトロニクス. 2, 電子素子・応用 = The Transactions of the Institute of Electronics, Information and Communication Engineers. C-2 / 電子情報通信学会 編 75(2) 1992.02
掲載ページ
p.p58~64
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資料詳細

要約等:

記事分類: 電気工学--電気材料・部品(提供元: CiNii Research)

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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
野矢 厚
佐々木 克孝
タイトル(掲載誌)
電子情報通信学会論文誌. C-2, エレクトロニクス. 2, 電子素子・応用 = The Transactions of the Institute of Electronics, Information and Communication Engineers. C-2 / 電子情報通信学会 編
巻号年月日等(掲載誌)
75(2) 1992.02
掲載巻
75
掲載号
2
掲載ページ
p58~64
掲載年月日(W3CDTF)
1992-02