陽イオン交換分離/黒鉛炉原子吸光法及び誘導結合プラズマ発光分析法による2ケイ化タングステン中の微量不純物の定量

• 資料種別: 記事
• タイトル: 陽イオン交換分離/黒鉛炉原子吸光法及び誘導結合プラズマ発光分析法による2ケイ化タングステン中の微量不純物の定量
• 著者・編者: 山口 仁志 他
• 著者標目: 山口 仁志
• タイトル（掲載誌）: 分析化学 / 日本分析化学会 編
• 巻号年月日等（掲載誌）: 42(3) 1993.03
• 掲載巻: 42
• 掲載号: 3
• 掲載ページ: p145～150
• 掲載年月日（W3CDTF）: 1993-03
• ISSN（掲載誌）: 0525-1931
• ISSN-L（掲載誌）: 0525-1931
• 出版事項（掲載誌）: 東京 : 日本分析化学会
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• NDLC: ZP4
• 対象利用者: 一般
• 記事種別、記事分類: 記事分類: 化学・化学工業--無機化学・無機化学工業--金属元素・金属化合物
• コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
• オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
• 遠隔複写可否（NDL）: 不可
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z17-9
• 関連情報（URI）: http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/10893045
• 関連情報（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/10893045; http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/10893045
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 3810414; http://id.ndl.go.jp/bib/3810414
• 整理区分コード: 632

• 要約等: 超LSI材料として用いられる二ケイ化タングステン中の不純物であるナトリウム,カリウムなどの極微量定量法を確立した.試料をテフロンビーカーにはかり取り,フッ化水素酸及び硝酸で加熱分解後,過塩素酸を加え白煙が生ずるまで加熱しケイ素を揮散させる.更に,不純物元素を陽イオン交換樹脂に吸着させタングステンマト...