ナノメータスケールの薄膜形成技術(ナノメータスケールの加工技術--加工界面での化学/物理反応に着目して<特集>)

掲載誌名: 精密工学会誌 = Journal of the Japan Society for Precision Engineering / 会誌編集委員会編 59(4) 1993.04

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資料種別: 記事
タイトル: ナノメータスケールの薄膜形成技術
著者・編者: 三宅正二郎
シリーズタイトル: ナノメータスケールの加工技術--加工界面での化学/物理反応に着目して<特集>
著者標目: 三宅正二郎
タイトル（掲載誌）: 精密工学会誌 = Journal of the Japan Society for Precision Engineering / 会誌編集委員会編
巻号年月日等（掲載誌）: 59(4) 1993.04
掲載巻: 59
掲載号: 4
掲載ページ: p563～567
掲載年月日（W3CDTF）: 1993-04
ISSN（掲載誌）: 0912-0289
ISSN-L（掲載誌）: 0912-0289
出版事項（掲載誌）: 東京 : 精密工学会
出版地（国名コード）: JP
本文の言語コード: jpn
NDLC: ZN12
対象利用者: 一般
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: Z16-466
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 3822451
http://id.ndl.go.jp/bib/3822451
整理区分コード: 632