極高真空装置の残留ガス特性 (活性粒子による新表層材料創製の研究<特集>)
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- タイトル
- 著者・編者
- 国分 清秀清水 肇一村 信吾
- シリーズタイトル
- タイトル（掲載誌）
- 電子技術総合研究所彙報 / 電子技術総合研究所 編
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 57(4) 1993.04
- 掲載巻
- 57
- 掲載号
- 4
- 掲載ページ
- p336～343