スパッタ法におけるエロージョン速度分布と成膜速度分布の相関
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 南部 健一後藤 裕一勝山 敏
- タイトル（掲載誌）
- 日本機械学会論文集. B編
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 60(569) 1994.01
- 掲載巻
- 60
- 掲載号
- 569
- 掲載ページ
- p16～23
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 1994-01