真空アーク蒸着装置における黒鉛陰極点の逆行速度 (真空中の絶縁・放電現象<特集>)
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 宮野 竜一 他
- シリーズタイトル
- 著者標目
- タイトル（掲載誌）
- 電気学会論文誌. A, 基礎・材料・共通部門誌 = IEEJ transactions on fundamentals and materials
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 114(2) 1994.02
- 掲載巻
- 114
- 掲載号
- 2
- 掲載ページ
- p117～122