スパッタ法により作製したa-Si(:H)/a-SiC(:H)超格子薄膜の量子井戸効果
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 須崎 嘉文 他
- 著者標目
- タイトル（掲載誌）
- 精密工学会誌 = Journal of the Japan Society for Precision Engineering / 会誌編集委員会 編
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 60(3) 1994.03
- 掲載巻
- 60
- 掲載号
- 3
- 掲載ページ
- p393～396
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 1994-03