うねりの小さい表面凹凸の3次元測定における試料姿勢制御-2-シミュレーションと実験
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 趙 南圭塚田 忠夫高橋 正明
- タイトル(掲載誌)
- 精密工学会誌 = Journal of the Japan Society for Precision Engineering / 会誌編集委員会 編
- 巻号年月日等(掲載誌)
- 60(5) 1994.05
- 掲載巻
- 60
- 掲載号
- 5
- 掲載ページ
- p678~682
- 掲載年月日(W3CDTF)
- 1994-05