半導体関連産業における事故例(先端技術の安全特集号)

• 資料種別: 記事
• タイトル: 半導体関連産業における事故例
• 著者・編者: 林 年宏
• シリーズタイトル: 先端技術の安全特集号
• 著者標目: 林 年宏
• タイトル（掲載誌）: 安全工学 = Journal of Japan Society for Safety Engineering / 安全工学会 編
• 巻号年月日等（掲載誌）: 33(6) 1994.12
• 掲載巻: 33
• 掲載号: 6
• 掲載ページ: p369～375
• 掲載年月日（W3CDTF）: 1994-12
• ISSN（掲載誌）: 0570-4480
• ISSN-L（掲載誌）: 0570-4480
• 出版事項（掲載誌）: 東京 : 安全工学会
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• NDLC: ZM25
• 対象利用者: 一般
• コレクション（共通）: 障害者向け資料
• コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
• コレクション（障害者向け資料：レベル2）: プレーンテキスト
• コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 雑誌; https://dl.ndl.go.jp/collections/A00002
• オンライン閲覧公開範囲: 国立国会図書館内限定公開
• デジタル化資料送信: 図書館・個人送信対象外
• 遠隔複写可否（NDL）: 可
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z14-16
• 掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/3200237; https://dl.ndl.go.jp/pid/3200237
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 3899208; http://id.ndl.go.jp/bib/3899208
• 整理区分コード: 632

• 要約等: <p><tt><b>事故例を収集・分析することは，同種の事故の再発防止に有用であることはもちろん，事故原因に関連する類似の物質，工程，装置，取扱い方法などに潜在する危険性について，問題点の指摘と事故防止対策の策定のための貴重な情報・教訓を与えてくれる．本稿では，半導体関連産業において発生した爆発．火...