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Al-Y合金薄膜に形成される表面酸化層のキャラクタリゼーションと形成過程の検討

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Al-Y合金薄膜に形成される表面酸化層のキャラクタリゼーションと形成過程の検討

国立国会図書館請求記号
Z16-1852
国立国会図書館書誌ID
3947409
資料種別
記事
著者
武山 真弓ほか
出版者
東京 : 電子情報通信学会エレクトロニクス ソサイエティ
出版年
1996-03
資料形態
掲載誌名
電子情報通信学会論文誌. C-2, エレクトロニクス. 2, 電子素子・応用 = The Transactions of the Institute of Electronics, Information and Communication Engineers. C-2 / 電子情報通信学会 編 79(3) 1996.03
掲載ページ
p.95~103
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
武山 真弓
野矢 厚
村上 佳隆 他
タイトル(掲載誌)
電子情報通信学会論文誌. C-2, エレクトロニクス. 2, 電子素子・応用 = The Transactions of the Institute of Electronics, Information and Communication Engineers. C-2 / 電子情報通信学会 編
巻号年月日等(掲載誌)
79(3) 1996.03
掲載巻
79
掲載号
3
掲載ページ
95~103
掲載年月日(W3CDTF)
1996-03