Quick External Leakage Inspection Method for Gas Supplying System in Semiconductor Facility Using Atmospheric Pressure Ionization Mass Spectrometer

• 資料種別: 記事
• タイトル: Quick External Leakage Inspection Method for Gas Supplying System in Semiconductor Facility Using Atmospheric Pressure Ionization Mass Spectrometer
• 著者・編者: Yasuhiro Mitsui; Tadahiro Ohmi; Atsushi Ohki 他
• 著者標目: Yasuhiro Mitsui; Tadahiro Ohmi; Atsushi Ohki
• タイトル（掲載誌）: 質量分析
• 巻号年月日等（掲載誌）: 44(2) 1996.04
• 掲載巻: 44
• 掲載号: 2
• 掲載ページ: 165～174
• 掲載年月日（W3CDTF）: 1996-04
• ISSN（掲載誌）: 0542-8645
• ISSN-L（掲載誌）: 0542-8645
• 出版事項（掲載誌）: 東京 : 日本質量分析学会
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: eng
• NDLC: ZP4
• 対象利用者: 一般
• コレクション（共通）: 障害者向け資料
• コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
• コレクション（障害者向け資料：レベル2）: プレーンテキスト
• コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 雑誌; https://dl.ndl.go.jp/collections/A00002
• オンライン閲覧公開範囲: 国立国会図書館内限定公開
• デジタル化資料送信: 図書館・個人送信対象外
• 遠隔複写可否（NDL）: 可
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z17-213
• 掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/2287000; https://dl.ndl.go.jp/pid/2287000
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 3947838; http://id.ndl.go.jp/bib/3947838
• 整理区分コード: 632

• 要約等: Semiconductor fabrication field requires screening technology, for external air leakage inspection in a clean room gas delivery system which can inspe...