帯状波動面を用いたソース・シンク変位駆動による進行波型リニアマイクロフィーダ
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 笹木 亮荒木 一彦佐々木 基文 他
- タイトル（掲載誌）
- 精密工学会誌 = Journal of the Japan Society for Precision Engineering / 会誌編集委員会 編
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 62(5) 1996.05
- 掲載巻
- 62
- 掲載号
- 5
- 掲載ページ
- 737～741
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 1996-05