エキシマレーザによるセラミックス材料の超微細穴加工 (特集:マイクロマシン加工技術)
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 中村 和人
- シリーズタイトル
- 著者標目
- タイトル(掲載誌)
- 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines
- 巻号年月日等(掲載誌)
- 117(1) 1996.12
- 掲載巻
- 117
- 掲載号
- 1
- 掲載ページ
- 15~19