Air Damping Characteristics of Integrated Accelerometers with a Single-Side Air Gap
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- Hideo MuroShigeyuki KiyotaSusumu Uchikoshi 他
- 並列タイトル等
- 片側ダンピング式集積形加速度センサ
- タイトル（掲載誌）
- 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 117(2) 1997.01
- 掲載巻
- 117
- 掲載号
- 2
- 掲載ページ
- 75～79