Multi Contact Points Slider for A Surface Acoustic Wave Motor (特集:MEMS技術)

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Multi Contact Points Slider for A Surface Acoustic Wave Motor(特集:MEMS技術)

国立国会図書館請求記号
Z16-B380
国立国会図書館書誌ID
4267508
資料種別
記事
著者
Minoru Kurosawaほか
出版者
東京 : 電気学会
出版年
1997-07
資料形態
掲載誌名
電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines 117(8) 1997.07
掲載ページ
p.430~431
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デジタル

資料種別
記事
著者・編者
Minoru Kurosawa
Makoto Chiba
Toshiro Higuchi
シリーズタイトル
タイトル(掲載誌)
電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines
巻号年月日等(掲載誌)
117(8) 1997.07
掲載巻
117
掲載号
8
掲載ページ
430~431