ULSI高アスペクト比SiO2エッチング技術の現状と展望

掲載誌名: 電気学会論文誌. A, 基礎・材料・共通部門誌 = IEEJ transactions on fundamentals and materials 117(10) 1997.09

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資料種別: 記事
タイトル: ULSI高アスペクト比SiO2エッチング技術の現状と展望
著者・編者: 堀池靖浩
著者標目: 堀池靖浩
タイトル（掲載誌）: 電気学会論文誌. A, 基礎・材料・共通部門誌 = IEEJ transactions on fundamentals and materials
巻号年月日等（掲載誌）: 117(10) 1997.09
掲載巻: 117
掲載号: 10
掲載ページ: 999～1003
掲載年月日（W3CDTF）: 1997-09
ISSN（掲載誌）: 0385-4205
ISSN-L（掲載誌）: 0385-4205
出版事項（掲載誌）: 東京 : 電気学会
出版地（国名コード）: JP
本文の言語コード: jpn
NDLC: ZN31
対象利用者: 一般
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: Z16-793
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 4303555
http://id.ndl.go.jp/bib/4303555
整理区分コード: 632