ECRスパッタ法を用いたPZT薄膜の形成と評価 (特集「センサ・アクチュエータ用無機機能性薄膜プロセス技術」)
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 大和田 邦樹田中 克彦久保 竜一
- シリーズタイトル
- タイトル(掲載誌)
- 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines
- 巻号年月日等(掲載誌)
- 117(10) 1997.09
- 掲載巻
- 117
- 掲載号
- 10
- 掲載ページ
- 497~500