Two Thin Film Shape Memory Alloy Microactuators

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Two Thin Film Shape Memory Alloy Microactuators

国立国会図書館請求記号
Z16-B380
国立国会図書館書誌ID
4323368
資料種別
記事
著者
Yousuke Nakamuraほか
出版者
東京 : 電気学会
出版年
1997-10
資料形態
掲載誌名
電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines 117(11) 1997.10
掲載ページ
p.554~559
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書誌情報

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デジタル

資料種別
記事
著者・編者
Yousuke Nakamura
Shigeo Nakamura
Lionel Buchaillot 他
タイトル(掲載誌)
電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines
巻号年月日等(掲載誌)
117(11) 1997.10
掲載巻
117
掲載号
11
掲載ページ
554~559
掲載年月日(W3CDTF)
1997-10