Bessel-Box形エネルギーフィルターを用いた極高真空用電離真空計--Axial-Symmetric Transmission Gauge(ATゲージ)
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 秋道 斉荒井 孝夫田中 智成 他
- タイトル（掲載誌）
- 真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 40(10) 1997.10
- 掲載巻
- 40
- 掲載号
- 10
- 掲載ページ
- 780～791
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 1997-10