マルチメディアデバイスの最前線--cat-CVD法を用いた薄膜堆積と半導体表面改質 (特集 マルチメディア時代における真空装置と薄膜応用)
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 和泉 亮松村 英樹
- シリーズタイトル
- タイトル（掲載誌）
- 表面技術 = Journal of the Surface Finishing Society of Japan
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 48(11) 1997.11
- 掲載巻
- 48
- 掲載号
- 11
- 掲載ページ
- 1082～1087