High Voltage and High Resolution Surface Potential Imaging using Scanning Electrostatic Force Microscope (特集:特殊イメージング技術)
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- Jun-ichi TakahashiTomomi Katoh
- シリーズタイトル
- 並列タイトル等
- SEFMによる高分解能表面電位測定
- タイトル(掲載誌)
- 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines
- 巻号年月日等(掲載誌)
- 117(12) 1997.11
- 掲載巻
- 117
- 掲載号
- 12