プラズマパルス堆積法により成膜したダイヤモンド状炭素薄膜の酸素プラズマエッチング
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 山田 秀雄辻 理
- タイトル（掲載誌）
- 炭素 / 炭素材料学会 編
- 巻号年月日等（掲載誌）
- (通号 181) 1998.02
- 掲載通号
- 181
- 掲載ページ
- 2～7
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 1998-02
- ISSN（掲載誌）
- 0371-5345