Al3Hf金属間化合物の陽極酸化膜による高耐熱,高信頼性薄膜キャパシタの検討
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 尾関 雅彦山根 美佐雄佐々木 克孝
- タイトル（掲載誌）
- 電子情報通信学会論文誌. C-2, エレクトロニクス. 2, 電子素子・応用 = The Transactions of the Institute of Electronics, Information and Communication Engineers. C-2 / 電子情報通信学会 編
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 81(7) 1998.07
- 掲載巻
- 81
- 掲載号
- 7
- 掲載ページ
- 619～627
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 1998-07