SIMOX法で作製したSi微粒子界面の高分解能観察とモデル化
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 奥井 学斎藤 智浩石川 由加里 他
- タイトル（掲載誌）
- 日本セラミックス協会学術論文誌 / 日本セラミックス協会 [編]
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 106 (通号 1240) 1998.12
- 掲載巻
- 106
- 掲載通号
- 1240
- 掲載ページ
- 1255～1258
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 1998-12