プラズマパルス堆積法による酸素含有硬質炭素薄膜の形成
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 山田 秀雄辻 理
- タイトル（掲載誌）
- 日本セラミックス協会学術論文誌 / 日本セラミックス協会 [編]
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 107 (通号 1243) 1999.03
- 掲載巻
- 107
- 掲載通号
- 1243
- 掲載ページ
- 242～248
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 1999-03