Development of a Sessile Drop Method Concerning Czochralski Si Crystal Growth

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Development of a Sessile Drop Method Concerning Czochralski Si Crystal Growth

国立国会図書館請求記号
Z53-A375
国立国会図書館書誌ID
4712371
資料種別
記事
著者
Susumu Sakaiほか
出版者
Tokyo : Published by the Japan Society of Applied Physics through the Institute of Pure and Applied Physics
出版年
1999-04
資料形態
デジタル
掲載誌名
Japanese journal of applied physics. Part. 1, Regular papers, brief communications & review papers : JJAP 38(4A) (通号 497) 1999.04
掲載ページ
p.1847~1851
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資料詳細

要約等:

A sessile drop method for the measurement of the oxygen dissolution rate from silica glass to silicon melt proposed previously has been further develo...

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デジタル

資料種別
記事
著者・編者
Susumu Sakai
Xinming Huang
Yasunori Okano 他
タイトル(掲載誌)
Japanese journal of applied physics. Part. 1, Regular papers, brief communications & review papers : JJAP
巻号年月日等(掲載誌)
38(4A) (通号 497) 1999.04
掲載巻
38
掲載号
4A
掲載通号
497
掲載ページ
1847~1851