STMによるシリコン酸化膜を用いたナノ加工プロセス

国立国会図書館請求記号: Z15-379
国立国会図書館書誌ID: 4757738

資料種別: 記事

著者: 岩崎裕ほか

出版者: 東京 : 日本表面科学会

出版年: 1999-06

資料形態: デジタル

掲載誌名: 表面科学 = Journal of the Surface Science Society of Japan / 日本表面科学会編 20(6) 1999.06

掲載ページ: p.435～442

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デジタル

資料種別: 記事
タイトル: STMによるシリコン酸化膜を用いたナノ加工プロセス
著者・編者: 岩崎裕
李楠
吉信達夫
著者標目: 岩崎裕
李楠
吉信達夫
タイトル（掲載誌）: 表面科学 = Journal of the Surface Science Society of Japan / 日本表面科学会編
巻号年月日等（掲載誌）: 20(6) 1999.06
掲載巻: 20
掲載号: 6
掲載ページ: 435～442
掲載年月日（W3CDTF）: 1999-06
ISSN（掲載誌）: 0388-5321
ISSN-L（掲載誌）: 0388-5321
出版事項（掲載誌）: 東京 : 日本表面科学会
出版地（国名コード）: JP
本文の言語コード: jpn
NDLC: ZM35
対象利用者: 一般
コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会
https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
遠隔複写可否（NDL）: 不可
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: Z15-379
関連情報（URI）: http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/8326801
関連情報（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/8326801
http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/8326801
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 4757738
http://id.ndl.go.jp/bib/4757738
整理区分コード: 632