Analysis of Dopant Diffusion in Si with Stacking Faults

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Analysis of Dopant Diffusion in Si with Stacking Faults

国立国会図書館請求記号
Z53-J286
国立国会図書館書誌ID
4758577
資料種別
記事
著者
Takahisa Okinoほか
出版者
Sendai : The Japan Institute of Metals
出版年
1999-06
資料形態
掲載誌名
Materials transactions, JIM 40(6) 1999.06
掲載ページ
p.474~478
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デジタル

資料種別
記事
著者・編者
Takahisa Okino
Toshitada Shimozaki
タイトル(掲載誌)
Materials transactions, JIM
巻号年月日等(掲載誌)
40(6) 1999.06
掲載巻
40
掲載号
6
掲載ページ
474~478
掲載年月日(W3CDTF)
1999-06