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Seeding Effect of Ti-layer on Lead Zirconate Titanate(PZT)Thin Films Deposited by Facing Target Sputtering

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Seeding Effect of Ti-layer on Lead Zirconate Titanate(PZT)Thin Films Deposited by Facing Target Sputtering

国立国会図書館請求記号
Z16-474
国立国会図書館書誌ID
4761230
資料種別
記事
著者
Xin-Shan Liほか
出版者
東京 : 日本真空協会
出版年
1999-05
資料形態
掲載誌名
真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan 42(5) 1999.05
掲載ページ
p.577~580
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書誌情報

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デジタル

資料種別
記事
著者・編者
Xin-Shan Li
Tsunehisa Tanaka
Yoshihiko Suzuki
タイトル(掲載誌)
真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan
巻号年月日等(掲載誌)
42(5) 1999.05
掲載巻
42
掲載号
5
掲載ページ
577~580
掲載年月日(W3CDTF)
1999-05