親ガスおよびラジカルの気相解離過程(特集 材料プロセス用フルオロカーボンプラズマに関する基礎研究の進展)

• 資料種別: 記事
• タイトル: 親ガスおよびラジカルの気相解離過程
• 著者・編者: 林 久貴; 関根 誠
• シリーズタイトル: 特集 材料プロセス用フルオロカーボンプラズマに関する基礎研究の進展
• 著者標目: 林 久貴; 関根 誠
• タイトル（掲載誌）: プラズマ・核融合学会誌 = Journal of plasma and fusion research / プラズマ・核融合学会編集委員会 編
• 巻号年月日等（掲載誌）: 75(7) 1999.07
• 掲載巻: 75
• 掲載号: 7
• 掲載ページ: 785～791
• 掲載年月日（W3CDTF）: 1999-07
• ISSN（掲載誌）: 0918-7928
• ISSN-L（掲載誌）: 0918-7928
• 出版事項（掲載誌）: 名古屋 : プラズマ・核融合学会編集委員会
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• NDLC: ZM35
• 対象利用者: 一般
• コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
• オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
• 遠隔複写可否（NDL）: 不可
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z15-8
• 関連情報（URI）: http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/10453667
• 関連情報（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/10453667; http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/10453667
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 4785278; http://id.ndl.go.jp/bib/4785278
• 整理区分コード: 632

• 要約等: To investigate the mechanism of C<SUB>4</SUB>F<SUB>8</SUB> dissociation, we made extensive measurements of electrons and radicals, as well as a theore...