スクリュー型真空ポンプの排気速度特性に及ぼすコンダクタンスの影響
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 阿久津 功堀越 源一
- タイトル（掲載誌）
- 真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 42(7) 1999.07
- 掲載巻
- 42
- 掲載号
- 7
- 掲載ページ
- 663～669
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 1999-07