TCAD統合システムによるプロセス最適化

• 資料種別: 記事
• タイトル: TCAD統合システムによるプロセス最適化
• 著者・編者: 倉満 晶子; 大原 完治; 奥間 啓二 他
• 著者標目: 倉満 晶子; 大原 完治; 奥間 啓二
• タイトル（掲載誌）: 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
• 巻号年月日等（掲載誌）: 99 (通号 264) 1999.08.27
• 掲載巻: 99
• 掲載通号: 264
• 掲載ページ: 61～66
• 掲載年月日（W3CDTF）: 1999-08-27
• ISSN（掲載誌）: 0913-5685
• ISSN-L（掲載誌）: 0913-5685
• 出版事項（掲載誌）: 東京 : 電子情報通信学会
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• NDLC: ZN33
• 対象利用者: 一般
• レポート番号（雑誌記事）: SDM99-135
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z16-940
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 4852383; http://id.ndl.go.jp/bib/4852383
• 整理区分コード: 632