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ITOドライエッチングとパターニング技術 (小特集 液晶プロセスを変革する透明導電膜の新技術)

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ITOドライエッチングとパターニング技術(小特集 液晶プロセスを変革する透明導電膜の新技術)

国立国会図書館請求記号
Z17-291
国立国会図書館書誌ID
4853162
資料種別
記事
著者
伴 厚志
出版者
東京 : 表面技術協会
出版年
1999-09
資料形態
掲載誌名
表面技術 = Journal of the Surface Finishing Society of Japan 50(9) 1999.09
掲載ページ
p.786~790
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デジタル

資料種別
記事
著者・編者
伴 厚志
著者標目
タイトル(掲載誌)
表面技術 = Journal of the Surface Finishing Society of Japan
巻号年月日等(掲載誌)
50(9) 1999.09
掲載巻
50
掲載号
9
掲載ページ
786~790