Al3Zr金属間化合物膜の陽極酸化とそれを応用した高信頼性薄膜キャパシタの作製

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Al3Zr金属間化合物膜の陽極酸化とそれを応用した高信頼性薄膜キャパシタの作製

国立国会図書館請求記号
Z16-1852
国立国会図書館書誌ID
4893878
資料種別
記事
著者
稲田 晴久ほか
出版者
東京 : 電子情報通信学会エレクトロニクス ソサイエティ
出版年
1999-10
資料形態
掲載誌名
電子情報通信学会論文誌. C-2, エレクトロニクス. 2, 電子素子・応用 = The Transactions of the Institute of Electronics, Information and Communication Engineers. C-2 / 電子情報通信学会 編 82(10) (通号 130) 1999.10
掲載ページ
p.543~550
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デジタル

資料種別
記事
著者・編者
稲田 晴久
山根 美佐雄
佐々木 克孝 他
タイトル(掲載誌)
電子情報通信学会論文誌. C-2, エレクトロニクス. 2, 電子素子・応用 = The Transactions of the Institute of Electronics, Information and Communication Engineers. C-2 / 電子情報通信学会 編
巻号年月日等(掲載誌)
82(10) (通号 130) 1999.10
掲載巻
82
掲載号
10
掲載通号
130
掲載ページ
543~550