Al3Zr金属間化合物膜の陽極酸化とそれを応用した高信頼性薄膜キャパシタの作製
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 稲田 晴久山根 美佐雄佐々木 克孝 他
- タイトル（掲載誌）
- 電子情報通信学会論文誌. C-2, エレクトロニクス. 2, 電子素子・応用 = The Transactions of the Institute of Electronics, Information and Communication Engineers. C-2 / 電子情報通信学会 編
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 82(10) (通号 130) 1999.10
- 掲載巻
- 82
- 掲載号
- 10
- 掲載通号
- 130
- 掲載ページ
- 543～550