解説 ドライエッチング装置における地球温暖化ガス削減の取り組み (〔日本真空協会〕関西支部企画 特集 真空技術と地球環境 ; 半導体製造技術の視点から)
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 下田 高広
- 著者標目
- タイトル（掲載誌）
- 真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 42(11) 1999.11
- 掲載巻
- 42
- 掲載号
- 11
- 掲載ページ
- 964～967