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窒化炭素/窒化ホウ素超格子積層膜の形成とそのマイクロトライボロジー特性

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窒化炭素/窒化ホウ素超格子積層膜の形成とそのマイクロトライボロジー特性

国立国会図書館請求記号
Z16-1056
国立国会図書館書誌ID
4921719
資料種別
記事
著者
三宅 正二郎ほか
出版者
東京 : 日本機械学会 ; 1979-2010
出版年
1999-11
資料形態
掲載誌名
日本機械学会論文集. C編 65 (通号 639) 1999.11
掲載ページ
p.4496~4501
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
三宅 正二郎
関根 幸男
渡部 修一
タイトル(掲載誌)
日本機械学会論文集. C編
巻号年月日等(掲載誌)
65 (通号 639) 1999.11
掲載巻
65
掲載通号
639
掲載ページ
4496~4501
掲載年月日(W3CDTF)
1999-11