解説 CZ-Si結晶成長における石英の溶解および酸素の偏析(小特集シリコン結晶成長における酸素輸送と欠陥制御)

掲載誌名: 日本結晶成長学会誌 = Journal of the Japanese Association for Crystal Growth 26(5) 1999

全国の図書館の所蔵

国立国会図書館以外の全国の図書館の所蔵状況を表示します。

所蔵のある図書館から取寄せることが可能かなど、資料の利用方法は、ご自身が利用されるお近くの図書館へご相談ください

その他

CiNii Research
検索サービス
デジタル
連携先のサイトで、CiNii Researchが連携している機関・データベースの所蔵状況を確認できます。
この本の所蔵を確認

この資料の詳細や典拠（同じ主題の資料を指すキーワード、著者名）等を確認できます。

資料種別: 記事
タイトル: 解説 CZ-Si結晶成長における石英の溶解および酸素の偏析
著者・編者: 黄新明
干川圭吾
シリーズタイトル: 小特集シリコン結晶成長における酸素輸送と欠陥制御
著者標目: 黄新明
干川圭吾
タイトル（掲載誌）: 日本結晶成長学会誌 = Journal of the Japanese Association for Crystal Growth
巻号年月日等（掲載誌）: 26(5) 1999
掲載巻: 26
掲載号: 5
掲載ページ: 226～234
掲載年月日（W3CDTF）: 1999
ISSN（掲載誌）: 0385-6275
ISSN-L（掲載誌）: 0385-6275
出版事項（掲載誌）: 大阪 : 日本結晶成長学会
出版地（国名コード）: JP
本文の言語コード: jpn
NDLC: ZM35
対象利用者: 一般
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: Z15-339
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 4977441
http://id.ndl.go.jp/bib/4977441
整理区分コード: 632